服務項目

酸性煙霧(白煙/黃煙)局部處理設備

酸性煙霧(白煙/黃煙)局部處理設備

局部廢氣處理設備

特點:


1.適合ITO(氧化銦錫)金屬薄膜重制制程(Rework)、王水(Aqua Regia)調製、發光二極管表面粗化(LBR)及銦球清洗等制程之酸性煙霧(Acid Fume)局部處理。

2.對於無機酸性煙霧可以不要添加任何化學品調整指令引數,但疏水性的煙霧則必須加入適合的化學添加劑(如氧化劑、還原劑等)。

3. 使用經驗非常豐富,包括友達光電、晶元光電、 南亞光電、清惠實業、升陽國際半導體、京東方科技(重慶)及永嘉光電等採用此技術。

4.對於氫氟酸(HF)、鹽酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、硝酸(HNO3)、王水 (Aqua  Regia)、氯化銨(NH4Cl)及氟化銨(NH4F)等的去除效率都相當的好。

5. 應用領域包括 IC 半導體產業(次微米及奈米制程)、TFT-LCD 產業及 LED 二極體產業等。

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