服務項目

氣態分子污染(AMCs)處理技術

氣態分子污染(AMCs)處理技術

濕膜洗滌塔吸收技術

特點:

 

  1. 適合潔淨室PPB等級濃度親水性AMCs處理需求。
  2. 以去離子水或市水做為吸收液,不需要添加任何化學藥品,符合綠色環保科技的國際趨勢。
  3. 使用經驗非常豐富,包括台積電、高通光電、友達光電及昆山中辰矽晶等,都是採用此技術;對於NH3、HF、H2SO4、H3PO4及HNO3等AMCs都有很好的處理效率。
  4. 對於外氣中≦1μm微粒(fine particles)也有很好的處理效率(≧99%)。
  5. 應用領域包括IC半導體產業(次微米及奈米製程)、TFT-LCD產業及生技產業等。
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